Coloque o substrato de silício sobre o chuck spin- coater . Selecione uma velocidade de rotação de 3000 RPM, e um tempo de rotação de 2 minutos. Coloque algumas gotas de S1813 sobre o substrato e começar a girar.
2
Ligue a placa quente e ajuste-o para 110 graus Celsius ( 230 graus Fahrenheit ) . Aguarde até que o prato quente atingiu a temperatura set-point . Colocar a amostra na placa quente durante 2 minutos . Retirar a amostra e deixe -o esfriar .
3
Colocar a amostra no alinhador de máscara, e colocar a máscara com a pista circular no alinhador de máscara acima da amostra . Exponha a amostra à luz ultravioleta por 2 segundos.
4
Colocar a amostra para o desenvolvedor S1813 por 30 segundos. O desenvolvedor remove as partes expostas da amostra , formando uma pista circular que o material supercondutor pode ser depositado em .
5
Colocar a amostra para o evaporador , e coloque algumas pelotas de nióbio no cadinho evaporação . Evaporar 100 nanômetros de nióbio . Retirar a amostra a partir da câmara de evaporação . Colocar a amostra em acetona. Acetona remove todas as partes do fotorresistente sair da pista circular supercondutor . A amostra é completa. O nióbio é supercondutor abaixo de 9,3 Kelvin .