Abra um sistema de pulverização . Remova a blindagem canhão de pulverização e desapertar o anel que detém o seu alvo de pulverização no lugar. Coloque o alvo de óxido metálico para o canhão de pulverização e parafuso no lugar do anel de alvo com uma chave de fenda de precisão. Recoloque a blindagem canhão de pulverização . Colocar o substrato de plástico para o suporte do substrato . Feche o sistema de pulverização .
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A bomba do sistema de pulverização para baixo a uma colocação como 10 ^ -6 milibares de pressão adequado . Certifique-se de que o obturador é fechado de modo que o substrato não está exposta a um depósito até ser necessário . Introduzir gás argônio do sistema para a câmara até uma pressão de cerca de 5 milibares é atingido.
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Ligue o fornecimento de energia de frequência de rádio . Espere até que um plasma visível pode ser visto dentro da câmara de pulverização . Abra o obturador. O substrato de plástico está a ser exposto a uma deposição de moléculas de óxido de metal . Feche o obturador quando a espessura desejada foi obtida.