DIY RF Acoplamento Plasma

Átomos consistem de um núcleo carregado positivamente cercado por uma nuvem de elétrons carregados negativamente. Por vezes os átomos podem ganhar ou perder electrões , que leva a que a aquisição de uma carga positiva ou negativa líquida . Um átomo com uma carga líquida é conhecido como um ião . Plasma é uma nuvem de íons , e estes podem ter um número de utilizações na indústria de processamento de semicondutores . Um plasma pode ser produzido dentro de uma câmara de vácuo Argon - cheia usando uma fonte de energia que gera freqüência de rádio (RF) radiation.Things você precisa
RF câmara de vácuo com Argon controlador de fluxo de massa
Rotary bomba
bomba Turbo
RF alimentação
rede correspondente RF
2 cabos RF
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1

Ligue a bomba rotativa e esperar para que a pressão chegar a 10 ^ -3 milibares . Ligue a bomba turbo, e esperar que a rampa até . Espere até que uma pressão de cerca de 10 ^ -6 milibares é atingido .
2

conectar um cabo de RF entre a unidade de adaptação RF e fornecimento de energia RF . Conecte outro cabo entre a unidade correspondente RF , e tomada eletrodo câmara de vácuo do RF .
3

Feche parcialmente a válvula para a bomba turbo. Ligue o controlador de fluxo de massa de argônio , e definir uma pressão de 15 milibares . Ligue a fonte de alimentação de RF e unidade correspondente. Defina um poder para a frente de 50 Watts. A unidade correspondente é ouvido como ele tenta minimizar a potência de RF refletida. Quando a energia reflectida é inferior a 1 por cento da energia para a frente , aumentar a potência de entrada de cerca de 150 Watts . O plasma dentro da câmara deve acender , e ser visível que a câmara de vista portas . Diminuir lentamente o poder para a frente volta a 50 Watts. O plasma casal RF é criado.